ATR500

APR500

APR500片盒搬運(yùn)機(jī)器人，可自動(dòng)搬運(yùn)兩個(gè)12寸FOUP（兼容8寸片盒），實(shí)現(xiàn)端到端全自動(dòng)搬運(yùn)。ATR500物料運(yùn)輸機(jī)器人，可兼容多種半導(dǎo)體工廠物料，在工廠不同區(qū)域進(jìn)行運(yùn)輸。機(jī)器人配置了多重安全保障功能，尤其適用于人機(jī)協(xié)作環(huán)境；多項(xiàng)創(chuàng)新技術(shù)有效提升機(jī)器人使用效率；可根據(jù)客制化需求，為用戶提供工廠搬運(yùn)整體解決方案。

● 靈活性高

● 適用于高凈化等級(jí)廠房

● 運(yùn)載量大

● 操作簡(jiǎn)便

● 物料可追溯

● 安全性高